반응형 EUV 노광1 ASML / 점유율 100% 반도체 장비/ 극자외선 노광장비 (EUV) ASML 네덜란드 반도체 장비 회사에 대해 살펴보겠습니다. ASML은 반도체 장비업계에 차세대 극자외선(EUV) 노광장비를 세계에서 유일하게 제조하는 회사입니다. 극자외선 노광장비 (EUV 장비, Extreme Ultra Violet) 반도체 재료인 웨이퍼에 극자외선 빛을 쬐어 반도체 회로를 형성시켜 반도체를 생산하는 기술이며 빛 파장이 13.5 나노미터 인현재 반도체 양산 라인에 주로 쓰이는 불화 아르곤(ArF) 액침 장비(193 나노미터) 보다 짧아 웨이퍼에 더 미세하게 패턴을 새길 수 있게 하는 기술입니다. 즉 EUV는 파장이 짧은 극자외선을 활용하여 반도체 웨이퍼에 회로를 새기는 초미세공정 기술의 핵심 장비이며 7nm 이하의 미세 회로를 새길 수 있는 유일한 장비입니다. ASML 개요 ASML은 .. 2021. 7. 22. 이전 1 다음 728x90 반응형